高純液質聯用氮氣發生器包括氮氧分離系統、氮氣緩沖系統、空氣儲罐系統、電氣控制系統等。在這些系統中，氮氧分離系統是制氮設備的主要部件，由兩個交替工作的吸附塔(塔內裝碳分子篩)和氣動閥、節流閥、消音器等組成。根據碳分子篩對空氣中主要成分氧氣和氮氣的吸附速率不同，在高純液質聯用氮氣發生器加壓吸附和降壓脫附過程中實現氮氧分離，而加壓吸附與降壓脫附過程由可編程控制器按一定程序控制電磁閥，并由電磁閥控制相應的氣動閥自動運行。

　　氧氮分離系統：其主體是兩個裝滿碳分子篩的吸附塔，當潔凈壓縮空氣進入一吸附塔時，O2、CO2和微量H2O被碳分子篩吸附，氮氣從出口端輸出。當一塔在吸附制氮時，另一塔通過減壓使吸附在分子篩中的O2、CO2和H2O從微孔中排出，實現分子篩的生脫附。兩塔交替進行吸附和生，連續輸出氮氣，該系統由吸附塔、塔內裝填的碳分子篩、氣動閥、消聲器、節流閥、壓緊氣缸、壓力表等組成。

　　氮氣緩沖系統：其主要作用在于均衡從氮氧分離系統分離出來的氮氣的壓力和純度，保證連續供給氮氣。同時，在吸附塔進行生到吸附切換時，它將存儲的部分合格氮氣回充吸附塔保護床層，另外也有幫助吸附塔升壓的作用。該系統由緩沖罐、流量計、粉塵過濾器、調壓閥、節流閥、防護閥等組成。

　　空氣儲罐系統：保證氧氮分離系統用氣平穩，在氧氮分離系統切換時防止瞬間氣流流速過快，影響空氣凈化效果，提高進入吸附器的壓縮空氣品質，有利于延長分子篩的壽命。該系統由空氣儲罐、防護閥、截止閥、球閥、壓力表等組成。

　　電氣控制系統：其作用是設備啟停操作、工作狀態指示燈顯示、故障聲光報警指示、純度顯示和按設定程序驅動氣動閥。高純液質聯用氮氣發生器的電氣控制系統由可編程序控制器CPU、氣源三聯件、電磁閥、指示燈、微氧儀等組成，主要集中安裝于電控柜。